隨著半導(dǎo)體工藝制程的進步,大規(guī)模集成電路的制程精度已經(jīng)全面進入納米時代,隨著對氣流組織以及微環(huán)境控制的研究,固體顆粒污染物對于潔凈室環(huán)境的影響越來越容易控制,而空氣分子污染AMC ( Airborne Molecular Contamination )逐漸成為影響潔凈室環(huán)境和工藝制程良率的重要影響因素,而如何有效地去除AMC污染則成為近年來暖通空調(diào)行業(yè)研究的重點問題。1 AMC污染的危害與防護一般而言AMC污染中有幾個主要污染物為堿類NH3、酸類SOx、NOx、HCl及有機類...
隨著科學(xué)技術(shù)的日新月異,尤其是軍事工業(yè)、航天、電子和生物醫(yī)藥等工業(yè)的發(fā)展,促使?jié)崈艏夹g(shù)的發(fā)展也隨之突飛猛進?,F(xiàn)代化工業(yè)產(chǎn)品生產(chǎn)和現(xiàn)代化科學(xué)實驗活動要求微型化、精密化、高純度、高質(zhì)量和高可靠性。電子計算機就是微型化產(chǎn)品中最具代表性的產(chǎn)品之一,電子管到半導(dǎo)體分離器件到集成電路再到超大規(guī)模集成電路。特別是20世紀80年代大規(guī)模集成電路和超大集成電路的迅速發(fā)展,大大促進潔凈技術(shù)的發(fā)展。一、概念及原理Fan Filter Unit (風(fēng)機過濾單元機組)簡稱FFU,是由高效過濾器( HE...
在高效過濾器上風(fēng)側(cè)發(fā)DOP檢漏時,在高效過濾器的上風(fēng)側(cè)必須設(shè)有DOP的導(dǎo)入裝置及濃度檢測管。這兩個管子也可以用來檢測過濾器的阻力。在檢測中,如果室內(nèi)干擾因素太多,為排除干擾,可在風(fēng)口出口加隔離罩,在罩內(nèi)進行檢測,這樣檢測的數(shù)據(jù)較為準(zhǔn)確。尤其要注意的是,在過濾器和安裝框架之間的檢漏,可以沿安裝框架檢漏,也可以送風(fēng)口箱體斷面上檢漏,但要排除卷吸氣流的干擾,要避免箱體.上的積灰干擾,尤其是采樣口不能接觸高效風(fēng)口箱體或過濾器的框架。在有速度的氣流中采樣,采樣速度應(yīng)等于氣流速度,否則采...
一、百級潔凈室運用FFU風(fēng)機過濾單元設(shè)計方案1、百級區(qū)吊頂滿布FFU風(fēng)機凈化單元。2、潔凈風(fēng)從百級區(qū)側(cè)墻下部高架地板或進入豎風(fēng)道,通過豎風(fēng)道進入靜壓箱,經(jīng)FFU風(fēng)機凈化單元送入室內(nèi)達到循環(huán)作用。3、百級區(qū)上部FFU風(fēng)機凈化單元垂直送風(fēng),百級區(qū)FFU風(fēng)機凈化單元與吊架間的滲漏,為室內(nèi)流向靜壓箱,對百級區(qū)潔凈度造成影響較小。4、FFU 風(fēng)機凈化單元重量輕,采用罩入式安裝方式,使安裝、更換過濾器及維修更加方便。5、縮短建設(shè)周期。FFU 風(fēng)機過濾單元系統(tǒng)節(jié)能顯著,從而解決了空調(diào)機房龐...
一、前言隨著我國經(jīng)濟和科技的高速發(fā)展,以電子產(chǎn)品為主的高科技產(chǎn)品生產(chǎn)得到了迅速的發(fā)展,大量的集成電路制造工廠、液晶制造工廠以及各類電子產(chǎn)品制造工廠大量興建。電子工業(yè)廠房大多是密閉的建筑,并且通道狹窄曲折,在生產(chǎn)過程中存在可燃有毒的特殊氣體和化學(xué)品,其生產(chǎn)的特殊要求對廠房給排水及消防系統(tǒng)的設(shè)計提出了新的要求。2008年12月15日,由國家工業(yè)和信息化部主編,國家住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部批準(zhǔn),國家住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部、國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局聯(lián)合發(fā)布了《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》,并于200...
一、局部高級別凈化代替全面高級別凈化設(shè)計時應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝對生產(chǎn)環(huán)境的實際要求,該高則高,該低則低。在允許的情況下盡量將高級別凈化的加工空間控制在小區(qū)域范圍內(nèi),盡量減少高凈化級別面積,以局部高級別凈化代替全面高級別凈化,以降低初投資和運行費用。我國“潔凈廠房設(shè)計規(guī)范GB50073-2001”中提供的“混合流”以及在集成電路芯片廠中推薦的“微環(huán)境”技術(shù)都是基于這一出發(fā)點。(1) 混合流潔凈室:所謂混合流潔凈室就是將非單向流和單向流兩種所流流型組合在一個潔凈室內(nèi)就構(gòu)成了混合流。其特...
為了使得藥品加工的實際要求得到滿足,就要切實建造出潔凈區(qū),保證塵埃、微生物以及溫濕度等能夠得到有效的控制。1潔凈區(qū)運行中的常見問題1.1潔凈區(qū)的衛(wèi)生環(huán)境設(shè)施是否合格通常來講,潔凈區(qū)空氣含塵量是受房間本身衛(wèi)生情況、各級凈化器以及房間的溫度、風(fēng)向等因素的影響。因此,滿.足凈化的首要條件就是房間表面的干凈整潔。1.2潔凈區(qū)設(shè)備是否節(jié)能我國一直針對全球性資源短缺的問題,提出可持續(xù)發(fā)展的戰(zhàn)略性建議。潔凈區(qū)能耗非常之大,因此,在潔凈區(qū)的建設(shè)和潔凈區(qū)空調(diào)控制系統(tǒng)的設(shè)計工作中,一直把降低潔凈...
1施工準(zhǔn)備依據(jù)工藝要求,充分熟悉圖紙,了解生產(chǎn)工藝流程,提出對設(shè)計的意見書,及時發(fā)現(xiàn)和解決設(shè)計過程中的缺陷甚至錯誤,從源頭避免和減少不必要的變更。對工藝管線的管徑、材質(zhì)、安裝標(biāo)高安裝位置和相互間距以及設(shè)備機房等進行二次設(shè)計。并編制詳細的施工組織設(shè)計,擬定具體的工料、機計劃和各階段詳細的施工方案。2施工控制2.1土建工程施工控制2.1.1 金屬壁板施工金屬壁板安裝流程如下:按圖紙確定高架地板支柱位置→安裝高架地板支柱→安裝高架地板并調(diào)整好其平整度→放大樣并安裝下馬槽吊頂構(gòu)件→安...
一、肺炎疫苗簡介目前普遍應(yīng)用的預(yù)防肺炎球菌疾病的疫苗主要有兩類,肺炎多糖疫苗和肺炎多糖結(jié)合疫苗。1)肺炎多糖疫苗肺炎多糖疫苗即23價肺炎球菌多糖疫苗,包括23個不同血清型的肺炎球菌,90%的肺炎是由以上病原菌引起,因此23價肺炎球菌多糖疫苗是國內(nèi)外健康成人普遍使用的肺炎疫苗。但由于2歲以下嬰幼兒免疫功能發(fā)育尚不完善,該疫苗不適用于2歲以下的嬰幼兒。2)肺炎多糖結(jié)合疫苗肺炎多糖結(jié)合疫苗是采用蛋白結(jié)合技術(shù),將疫苗中的每種多糖通過共價鍵的方式與白喉類毒素蛋白結(jié)合到一起形成的疫苗。由...
一、廠房的平面布置(1)火災(zāi)危險性定性問題“建規(guī)”第3.1.2條規(guī)定:同一座廠房或廠房的任一防火分區(qū)內(nèi)有不同火災(zāi)危險性生產(chǎn)時,該廠房或防火分區(qū)內(nèi)的生產(chǎn)火災(zāi)危險性分類應(yīng)按火災(zāi)危險性較大的部分確定。當(dāng)火災(zāi)危險性較大的生產(chǎn)部分占本層或本防火分區(qū)面積的比例小于5%,且發(fā)生火災(zāi)事故時不足以蔓延到其他部位或火災(zāi)危險性較大的生產(chǎn)部分采取了有效的防火措施,可按火災(zāi)危險性較小的部分確定。在實際工業(yè)生產(chǎn)中,比如中藥提取車間的醇提取和收膏收粉區(qū),醇提取屬于甲類生產(chǎn)區(qū)域,而收膏收粉屬于丙類生產(chǎn)區(qū)域,...