決定產(chǎn)品良率最主要的因素之一就是潔凈間(無(wú)塵室)之潔凈度，而維持一良好潔凈度之潔凈間，并不是一件簡(jiǎn)單的事，很多廠商在選擇潔凈間用耗材，尤其是擦拭布方面往往有評(píng)估或質(zhì)量認(rèn)證等相關(guān)問(wèn)題。我們以為：如果僅針對(duì)個(gè)別因素作討論，往往失之偏頗，不夠周延，無(wú)法反應(yīng)潔凈間用耗材的評(píng)估重點(diǎn)。因此建立一個(gè)完整的潔凈間用耗材概念，也就更加重要。????
其實(shí)潔凈間與我們一般住家環(huán)境一樣，都會(huì)受到灰塵或塵粒的污染，當(dāng)桌面臟了拿起抹布，擦一擦就可以了，而潔凈間內(nèi)工作環(huán)境的潔凈維持較一般住家環(huán)境要嚴(yán)謹(jǐn)許多，但該如何處理呢？擦拭是一個(gè)方法！但是這里的「擦拭」卻是有很多學(xué)問(wèn)，否則會(huì)越擦越臟。????
就目前潔凈間所接受到的污染物來(lái)區(qū)分，可分為以下幾種。
(1)微粒污染物(Particulates)：像細(xì)微塵土、發(fā)屑、纖維碎屑、金屬微碎屑等；????
(2)有機(jī)污染物(Organic contaminants)：像人的油脂、皮屑、油污、殘余的光阻、塑料渣(Plasticizers)、殘?jiān)?、聚合物等????
(3)無(wú)機(jī)污染物(Inorganic contaminants)：像電鍍殘?jiān)⑺?、堿、鹽、金屬離子等；????
(4)微生物污染物：像細(xì)菌、芽苞、濾過(guò)性病毒、酵母等；????
(5)制造過(guò)程產(chǎn)生的污染物：在薄膜長(zhǎng)晶過(guò)程中形成SiO2污染、真空制程中真空腔產(chǎn)生的殘?jiān)⒃跓o(wú)菌容器中的粉沫、液體、油膏等。????
由于污染物有很多種，嚴(yán)格來(lái)說(shuō)，針對(duì)不同的污染物會(huì)有不同的清除方式。而且要同時(shí)考慮污染物所附著的表面。????
擦拭是維持潔凈間之潔凈度及有效清除實(shí)體表面所附著的污染物最基本且最有效的方法，什么是擦拭作用？其基本定義為，清潔潔凈間里所有的實(shí)體表面(Surface)及實(shí)體表面的殘留物(Spills)，以提供清潔且符合潔凈等級(jí)的工作表面。另外擦拭又分為干擦(Dry wiping)及濕擦(Wet wiping)。干擦可清除一小部份細(xì)微的污染物，擦拭效果較??；濕擦則可清除大部分細(xì)微的污染物，擦拭效果較大。在擦拭過(guò)程中我們會(huì)發(fā)覺(jué)有的塵?；蛭廴疚锶菀妆磺宄械膮s非常困難，這跟塵粒的附著力有相當(dāng)大的關(guān)系。理論上，塵粒的附著力是指移除潔凈間實(shí)體表面的微粒所需的力。????
而影響塵粒附著力的因素可大分為三種。一為塵粒本身，塵粒的化學(xué)屬性、尺寸與型式；二為實(shí)體本身，實(shí)體表面的材料及表面狀況；第三種為潔凈間環(huán)境，尤其是相對(duì)濕度。一般來(lái)說(shuō)，到底塵粒的附著力有多大？以1mm大小的塵粒附著于硅片為例，微粒是毛細(xì)物(Capillary)為0.045 dyne、Van der waals為0.014 dyne、Electric Double Layer為0.003 dyne、Electrostatic Image為0.001 dyne。????
影響塵粒粘著力大小之分析(附著力)：????
(1)介于塵粒與附著表面的薄液體與粘著力有關(guān)系；????
(2)圓柱狀的塵粒，像頭發(fā)、短纖維的附著力較一般為強(qiáng)；????
(3)液體的表面張力與粘著力成正比；????
(4)塵粒與附著表面的潮濕性也會(huì)增加粘著力；????
(5)親水的實(shí)體表面也會(huì)牢牢的粘住塵粒；????
(6)塵粒越大附著力越大；????
(7)塵粒與表面的附著力其實(shí)是很大的。所以要有效移除塵粒，要先了解影響塵粒附著力之因素及附著力大小，以便選擇適當(dāng)清潔用品及清潔劑。????
潔凈間的等級(jí)分類潔凈間依制程需要會(huì)有不同的等級(jí)要求，越高等級(jí)的潔凈間，相對(duì)設(shè)置與維護(hù)成本也將越高。
清潔度之維持與有效的擦拭由于大部分的潔凈間都已經(jīng)經(jīng)過(guò)重重的保護(hù)，但往往還是有污染的情況發(fā)生，可能的因素之一，就是在擦拭的過(guò)程發(fā)生問(wèn)題，例如使用不洽當(dāng)?shù)牟潦霉ぞ?，擦拭方式不正確等，因此造成清潔效果不彰或是二次污染；故對(duì)于擦拭要有更深入的了解，一般容易被忽略的一些要點(diǎn)，如塵粒與實(shí)體表面中間有很強(qiáng)的附著力，不是輕輕一擦就可移除；移除極小的塵粒相對(duì)需要極大的外力；擦拭布，拖把及擦拭棒提供必要的外力來(lái)清除塵粒；藉助低表面張力的清潔劑也可以幫助移除塵粒。這幾點(diǎn)都是經(jīng)常被忽略的，也是我們要注意的。另外我們就擦拭材料作一分析及討論，擦拭效果的好壞與擦拭材料有絕對(duì)的關(guān)系，同樣材質(zhì)但不同方式編織成的擦拭布其除污效果也大不相同，其主要因素就是擦拭刮除力(Shear force)。????
擦拭刮除力接觸實(shí)體表面的清潔方式是清潔堅(jiān)硬表面的最有效方式，例如以500克的下壓力施與擦拭布上，而產(chǎn)生的擦拭效果(刮除力)可達(dá)100psi，而且清潔劑(溶劑)的化學(xué)效力也會(huì)增強(qiáng)清除效果。因此在選擇適合的擦拭用品時(shí)，千萬(wàn)要注意刮除力，而刮除力跟擦拭布的材料及編織方式有絕對(duì)的關(guān)系，因此在選擇擦拭用品時(shí)，一定要注意這部分，因?yàn)槟壳昂芏喙┴浬烫峁┑漠a(chǎn)品，質(zhì)量差異很大，最好請(qǐng)擦拭用品供貨商，提供具體的規(guī)格或?qū)嶒?yàn)數(shù)據(jù)，這樣才可確保產(chǎn)品的質(zhì)量。我們已經(jīng)了解擦拭用品的差異，接下來(lái)擦拭方法也是相當(dāng)重要的，不正確的擦拭不但無(wú)法清潔物體表面，甚至有可能損害到精密的產(chǎn)品。而擦拭無(wú)外乎濕擦(Damp Wiping)與干擦(Dry Wiping)。????
濕擦先以化學(xué)清潔劑溶解及減低塵粒的附著力，將污染物吸入擦拭布中或溶解于清潔劑中，并避免使干塵粒飛入空氣中，濕擦較干擦更為有效，能移除大量的塵粒。????
干擦最好用在最后擦拭，擦干實(shí)體表面。當(dāng)實(shí)體表面不能弄濕時(shí)才使用此方法，一般而言：干擦效果不及濕擦。要能夠徹底清潔及找出適合的擦拭用品我們必須以微觀的角度來(lái)了解擦拭動(dòng)作。使用低表面張力的清潔劑，分解塵粒(Deposition)——使塵粒與實(shí)體表面分離。移除微粒或殘?jiān)?Removal)，以擦拭布的結(jié)構(gòu)將塵粒移開(kāi)實(shí)體表面并陷入擦拭布的結(jié)構(gòu)中。擦拭布的功用即包含以上兩種，但須維持平衡，以免讓被分解開(kāi)的塵粒遁入空氣中，四處移動(dòng)。
由于了解擦拭作用的概念，因此利用此一概念，我們歸納出擦拭的要領(lǐng)為，由實(shí)體表面最干凈的地方往最臟的地方擦拭；由最干的地方往最濕的地方擦拭；盡量使擦拭面壓力平均；按規(guī)定的折迭方式折迭、換面、讓擦拭面保持最干凈，才能維持擦拭效果；25%重迭擦拭表面，擦拭方向平行一致。擦拭方法是有標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的。有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的擦拭方法Institute for Environmental Science標(biāo)準(zhǔn)，文件編號(hào)?IES-RP-CC018.2。????
選擇合適的擦拭材料每個(gè)生產(chǎn)線對(duì)于擦拭材料的要求都不一樣，但一定要依實(shí)際之需要來(lái)選擇，因此就擦拭材料的基本特性作一說(shuō)明，以便在選擇時(shí)作參考。????
● 吸水性：吸水性的內(nèi)容應(yīng)包括吸水量(Capacity)、吸水速率(Efficiency)兩項(xiàng)；????
● 韌度：也就是耐磨性，擦拭布結(jié)構(gòu)須不易被破壞，并釋出纖維碎屑.?擦拭粗糙表面時(shí)，尤其需要考慮這個(gè)特性；????
● 抗拉扯力：此特性與擦拭粗糙表面有重要關(guān)系；????
● 抗化學(xué)藥劑特性：部分制程需使用特殊化學(xué)藥劑或危險(xiǎn)溶劑，擦拭布供貨商也針對(duì)不同化學(xué)藥劑的清除提供不同的擦拭材料；???
● 使用的方便性：擦拭布的顏色，尺寸與包裝是否能迎合生產(chǎn)線需要，也必須考慮；????
●一般在生產(chǎn)線最常碰到的就是吸水性的問(wèn)題，在此所稱的吸水性，并不是單指吸水，而是泛指水溶液，擦拭材料之吸水性取決于4大項(xiàng)。一為材料本身，一般織成聚酯纖維的吸水性最好，其次是無(wú)紡混紡材料，棉質(zhì)則最差。聚酯纖維的吸水量大，吸水速率也較快；棉花的吸水量較小，吸水速率也較慢；無(wú)紡混紡布的吸水量小，但吸水速率較棉花為快。第二項(xiàng)為毛孔的型式，一般較小的孔徑容水量較大，但吸水速度較慢。第三項(xiàng)則是表面處理、膨脹處理、軟化處理等，均會(huì)影響吸水性。最后一項(xiàng)為液體特性，要清除的是何種液體？它的表面張力也會(huì)影響吸水性質(zhì)。????
除了吸水性之外，擦拭材料的污染性(潔凈度)也是大家相當(dāng)重視的，因此特別就各種規(guī)格及測(cè)試方法作一說(shuō)明，以期在做選擇時(shí)，不會(huì)雞同鴨講，將不同的測(cè)試數(shù)據(jù)放在一起比較。????
● 擦拭布的塵粒釋出量(>0.5mm)：Air Particle Counter、Liquid Particle Counter、Scanning Eletron Microscopy：IEST規(guī)范以上3種擦拭布?jí)m粒釋出量的測(cè)試方法。建議讀者于評(píng)估擦拭布潔凈度或閱讀相關(guān)產(chǎn)品潔凈度數(shù)據(jù)前，先確定這份數(shù)據(jù)用的是哪種測(cè)試方法，藉以統(tǒng)一評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)。????
● 纖維釋出量(Optical Microscopy)：這個(gè)測(cè)試方法是為測(cè)出擦拭布纖維結(jié)構(gòu)被破壞情形，以及所釋出的纖維殘屑。????
● 非揮發(fā)性殘?jiān)?Non-volatile Residue)：這個(gè)測(cè)試方法主在測(cè)試擦拭布中不能被去離子水(DIW)或異丙醇(IPA)溶解的殘余物質(zhì)。????
● 離子釋出量(Capillary Ion Electrophorsis)：這個(gè)測(cè)試方法主在測(cè)試出擦拭布中釋出的離子。????
● 生化物質(zhì)(Culture Plate)：在這里指的是擦拭布釋出的有機(jī)物質(zhì)。????
● 毒物(LAL test)：指的是擦拭布釋出的有毒物質(zhì)。????
● 表面阻抗質(zhì)(Resistance Probe & Ohmmester)：這點(diǎn)與擦拭布能否有效吸附塵粒，或能否應(yīng)用于靜電敏感實(shí)體表面(ESDS)，像光罩上。擦拭材料的材質(zhì)有很多種，廣義來(lái)說(shuō)，可分為兩大項(xiàng)。第一種是人工材質(zhì)連續(xù)纖維(Continuous filament yarns)，屬長(zhǎng)纖維、不易斷、較少塵粒與纖維釋出，可為織成布或無(wú)紡布，有聚酯纖維及尼龍兩種；第二種則是所謂的人工材質(zhì)(Staple yarn nature)，短纖維、較多塵粒與纖維釋出，可為織成布與無(wú)紡布。相較之下，屬第一種類型的聚酯纖維，最符合潔凈間擦拭布要求，具有超低塵粒及纖維碎屑釋出等特性，且可以做封邊處理，也就是熔合擦拭布的四邊，再避免纖維碎屑釋出。????
至于尼龍，其韌性及吸水性較強(qiáng)、有較低的塵粒及纖維釋出，但非揮發(fā)性殘?jiān)枯^高。而其他的材質(zhì)，如聚酯纖維素混紡其韌性及吸水性強(qiáng)、有較高的塵粒與纖維釋出；棉織物則具韌性強(qiáng)、吸水性中等、較耐熱、適合擦超過(guò)攝氏250度以上實(shí)體表面、塵粒及纖維釋出物超多、不適用在高等及潔凈間等特質(zhì)；